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廢氣處理RCO催化燃燒在催化燃燒過程中，催化劑往往會因高溫、振蕩和氣流等因素的效果，使催化劑發生決裂和磨損，決裂和磨損會造成催化劑的活性下降，增加催化劑床層的壓降，影響凈化效果。

在蒸汽中混入催化劑，使燒焦反響熱削減，因為燒焦時刻大大縮短，削減了停工時刻，進步了爐子開工率。催化焚燒所用催化劑是一種不含重金屬的無毒化合物，以水溶液形式被注入通入爐管的蒸汽流中，爐溫可由焚燒器操控安穩。因燒焦速度快，又不存在超溫過熱的風險，所以使爐管的燒焦操作很簡單操控。

通常有機廢氣的處理有許多處理的方式像是甲醛有機廢氣處理，主要是處理苯及甲苯及二甲苯等等苯系物。RCO催化燃燒能夠去除這些有機廢物，RCO廢氣處理設備之所以被稱作是催化燃燒設備，是因為在使用這個設備利用活性炭處理廢氣，當使用地活性炭達到飽和之后就可以利用催化劑對飽和的活性炭實現脫附再生這就大大延長了活性炭的使用壽命。

廢氣處理RCO催化燃燒用引風機將大風量、低濃度的揮發性有機廢氣進行過濾，再用蜂窩活性炭進行吸附、濃縮，成為干凈的空氣之后通過煙囪排入大氣中；當活性炭吸附能力接近飽和時，用電控系統控制催化氧化爐開始進行加熱工作，在此同時開始進行對對貴金屬催化劑預熱工作。

通過控制加熱之后的高溫氣體使用換熱器降溫再經混風調節到一定溫度后，進行對吸附飽和的活性炭模塊加熱脫附；加熱脫附后的高濃度有機廢氣經換熱器預熱進入催化氧化爐進行分解；在催化氧化爐內被加熱到一定溫度的有機廢氣（VOCs）在貴金屬催化劑的作用下發生無焰燃燒，VOCs被氧化分解成CO2和H2O，到此已達到對VOCs的凈化目的，凈化后的空氣經煙囪排放到空氣中。